半導體芯片廠對于空氣過濾器的要求非常嚴格

當今，半導體芯片廠對生產環境空氣潔凈度最挑剔，對空氣過濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。

衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”，即集成電路上導線的寬度。在線寬以微米計算的年代，制造環境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13μm，此時任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統比較過時了。

芯片廠傳統的通風形式是“大循環”，車間的整個天花板上布滿無隔板高效過濾器，整個地面為回風柵板。現在芯片廠有些車間使用自帶風機的高效過濾裝置（FFU，FanFilter Units）。大循環和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。

空氣中的海鹽離子是所有電子工業的大敵，但海鹽粉塵的顆粒比較大，普通空氣過濾器就能將其清除。有人說電子工業的理想地點應該遠離海岸，可國內芯片廠就建在了經濟發達的沿海地區，在過濾器上多花點錢就是了。

芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發元素。近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它帶靜電，過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子，少了個隱患，多了個麻煩。目前PTEE高效濾材的價格偏高，絕大部分高效過濾器仍使用傳統的玻纖濾紙。高效過濾器上可能的揮發物主要來源于制造過程中使用的粘結劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材料、為芯片廠供貨的過濾器廠商要在避免微量揮發物上下些功夫。

但當芯片的線寬小到0.5μm時，人們發現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯片廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。

芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發元素近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料，這種材料沒有揮發物，但它帶靜電，過濾后的空氣要進行電中和以消除離子，少了個隱患，多了個麻煩。

但當芯片的線寬小到0.5um時，人們發現空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害，于是，后建的芯廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。

芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理和制造工藝并不復雜。

許多情況下，設計師和現場人員也說不清污染物的種類和濃度，因此，芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點：廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。